沿介质表面的电场强度达到其击穿场强时产生的局部放电称为表面局部放电。它主要存在于不均匀的电场中，比如电极边缘处。在对称系统中，一般情况下电场分布是对称的，即两个电极边缘场强是一样的。因此产生放电的概率基本相同，放电的图形也是基本对称的，即正负两半波的放电波形基本相同。

在不对称系统中，例如表面局部放电时只发生在一个电极的边缘，那么放电波形就不是对称的。如图，产生边缘放电的电极处于交流工作电压时，正半周出现的脉冲群大而稀，负半周出现的脉冲群是小而密。这主要是因为导体在负极性时容易发射电子，正离子撞击阴极同时发射二次电子，使得电极周围气体的起始放电电压降低，因而放电脉冲数多但放电量小。如果放电的电极接低压端，不放电的电极接高压端，则放电波形的极性也随之反向，变成负半周出现的脉冲群大而稀，正半周出现的脉冲群小而密。

表面局部放电波形